安捷伦真空:磁场环境对分子泵运行的影响

许多设备在工作时都会产生磁场,比如,家用电冰箱的磁场强度约有10高斯(1mT),MRI (核磁共振)的磁场强度甚至会高达 3T;尽管可以采取屏蔽等措施,仍然可能会有外漏的杂散磁场,对工作在附近的分子泵产生不好的影响。

磁场对涡轮分子泵的可能影响

当涡轮分子泵的转子在磁场中旋转时,会产生涡流。这些电流倾向于阻碍转子的旋转,并导致电机的功率增大。由于泵转子不与定子接触,涡流产生的热量和额外的功率主要通过辐射消散。因此,转子可能会过热,即使泵体及其它静止的部件仍然是冷的。为了确认磁场对分子泵工作的影响,德国卡尔斯鲁厄理工学院(KIT)设计并执行了下面的测试:

测试条件和装置

被测分子泵的型号为 TwisTorr304 FS CFF6,使用一对亥姆霍兹线圈(直径 120 厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。

被测分子泵由一台涡旋干泵作为前级,分子泵的进气口压力抽至 1E-3 mbar 以下(该压力以下,热对流几乎为零,分子泵转子的热量仅可以通过辐射传递出去很小的一部分)。

使用 20℃ 的冷却水对分子泵持续进行冷却;分子泵的控制器会自动调整电机电流,保持转子以恒定转速运行。

使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的 PT100 热电阻测量定子的温度。

测试过程

试验期间,涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为 1mT ,泵在该磁场下运行 12 个小时以稳定转子温度;然后关闭磁场,再运行 12 个小时以使转子降温;然后再分别把磁场设置为 2mT,按照前面的步骤继续进行测试,直至磁场增加到 7mT 。

测试结果

如上图所示,当磁场逐步增加后,被测分子泵转子的平衡温度也随之上升,当磁场强度为 7mT 时,平衡温度上升到 100 摄氏度左右(安捷伦分子泵的最大允许温度为 120 度)。

另外,KIT 使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵,一系列的对比测试表明,安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低( 5mT 时,低大约40度)。

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